In this paper, we introduce the mass-spring model of electrostatic actuation, and also a general electrostatically structure(electrostatic-elastic systems).
本文介绍了静电驱动的质量弹簧模型,和更一般的静电驱动结构-静电弹性系统。
参考来源 - MEMS静电驱动系统中非局部问题研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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