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critical dimension 临界尺寸;重要尺寸

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  关键尺寸

...辨和加工的最小线条尺寸 焦深(DOF-Depth Of Focus)-> 投影光学系统可清晰成像的尺度范围 关键尺寸CD-Critical Dimension)控制 对准和套刻精度(Alignment and Overlay) 产率(Throughout) 我们可以明确看到EUV极端远紫外光在光谱中的位置,这是一种波...

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