电容式RF-MEMS开关
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capacitive rf-mems switches
电容式rf-mems开关
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A novel capacitive switches structure for the distributed RF MEMS phase shifters is presented based on the analysis of the operation principle.
通过分析MEMS电容开关的工作原理，设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关。
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