此次的设备通过提高旨在使离子束保持平行的磁铁特性，将射束发散角（beam divergence angle）控制到了0.1度以下。同时还将注入时用来放置晶圆的晶圆座固定角度的范围缩小到了0.05度以下。
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... 电子束电流 beam current 电子束发散角 beam divergence angle 电子束发生器 electron beam generator ...
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Beam divergence full angle 光束发散全角
beam-divergence angle 光波束发散角
whole-beam divergence angle 波束总发散角
Beam Full Divergence Angle 光束发散角
Angle of beam divergence 波束发散角
The output parameters such as beam divergence angle in far-field output power of high power solid state lasers are variable due to thermal effect of optical pumping.
由于光泵浦热效应，高功率固体激光器的输出参数如光束远场发散角、输出功率等会发生变化。
This method in the invention is only measuring in the one position of the optical path; therefore the method can facilitate to realize the real-time measurement of the beam divergence Angle.
本发明方法只在光路中的一个位置测量即可，因此本发明方法可方便地实现光束发散角的实时测量。
Another important application of diffraction theory is the study of the far field divergence Angle of a collimated light beam.
衍射理论的另一个重要应用就是研究准直光束的远场发散角。
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