氩等离子刻蚀
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argon plasma etching
氩等离子蚀刻
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The effects of etching electrode with argon and oxygen plasmas in advance on the preparation of argon plasma polymerized vinylferrocene film electrode were compared.
本文对比了用氩等离子体和氧等离子体预刻蚀电极的情况，认为在电极表面是否有含氧基团存在对氩等离子体聚合制备修饰电极影响不大。
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