... 各向异性蚀刻(Anisotropic Etch) 各向异性停蚀技术(Anisotropic Etch-Stop) 干式蚀刻(Dry Etch) ...
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anisotropic etch-stop
各向异性腐蚀停止
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Application of TMAH solutions which is used as etchant in boron etch-stop and anisotropic etching process in the manufacturing of single-crystal and polysilicon pressure sensors is mainly discussed.
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性，论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中，TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。
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