Microsoft Word - 12-213孙可为_英_.doc Key words: Al-doped ZnO films; direct current magnetron sputtering; sputtering pressure; electro-optical prop[gap=16460]关 键 词 : ZnO:Al薄膜; 直流磁控溅射; 溅射气压; 光电性质
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Al-doped ZnO thin films Al掺杂ZnO薄膜
al-doped zno films
掺铝zno薄膜
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