•,还可增强材料断裂强度和抗震性能是在较低压力和温度下进行的、高密度等离子体CVD(HDPCVD),在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术,沉积物达到一定厚度以后又容易与基...
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高密度等离子体cvd
High density plasma cvd
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