《半导体科技》>ADI模数转换器新品提高医疗设备和精密仪器性能 性缺陷的检测 如何对湿法清洗工艺和表面处理工艺进行优化是半导体业界需要面对的挑战之一，其部分原因是缺乏对非可视性缺陷（nonvisual defect, NVD）的检测手段。本文介绍一种新型的非光学检测技术，并以此来对通孔制作后现有的湿法清洗工艺进行优化。这种扫
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...湿法清洗工艺和表面处理工艺进行优化是半导体业界需要面对的挑战之一，其部分原因是缺乏对非可视性缺陷（nonvisual defect, NVD）的检测手段。本文介绍一种新型的非光学检测技术，并以此来对通孔制作后现有的湿法清洗工艺进行优化。
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