集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一，因此，集成电路测试仪作为一个测试门类受到很多国家的高度重视。40年来，随着集成电路发展到第四代，集成电路测试仪也从最初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和超大规模集成电路，到了八十年代，超大规模集成电路测试仪进入全盛时期。
本文介绍一种新型的单片微机控制的数字集成电路测试仪。
This paper introduces a new type digital integrated circuit tester controlled by single chip computer.
这种测试仪在电子玻璃、半导体、集成电路、薄膜和纳米技术等领域都具有很大的应用前景。
This kind of tester has a enormous practical prospect in many fields, such as electronic glass, semiconductor, integrated circuit, thin films and technology of nanometer.
最后将错位相移器应用于集成电路硅片薄膜应力分布测试仪及错位电子散斑干涉仪之中。
This technic has been used in the instrument of IC wafer Stress Analyzer and Shear Electronic Speckle Pattern Interferometry (SESPI).
应用推荐