合磨料的制备及其氧化物化学机械抛光性能 陈杨(Yang Chen);隆仁伟(Ren-Wei Long);陈志刚(Zhi-Gang Chen); 丁建宁 ( Jian-Ning Ding ) 9-14 airiti.com
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隆仁伟
Long Renwei
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