在各种真空离子镀膜技术中，阴极电弧沈积(cathodic arc evaporation, CAE)技术具有高离化率、沈积速度快、可使用合金靶材等优点，近年来国内在此技术上已开发出相关系统硬体与商业化...
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阴极电弧沈积
Cathode arc deposition
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