...备方法通常是在玻璃片上先沉淀1层非晶硅(a-Si)薄膜,然后再采取一定的方式使其结晶化[2].在各种晶化方法中,金属诱导侧向晶化(MILC)由于具有晶化温度低、工艺简单和晶化效果好而备受重视[3].
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金属诱导侧向晶化
Metal induced lateral crystallization
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