... Silicide矽化物 Silicide金属矽化物 "Silicide"通常指金属矽化物，为金属舆矽之化合物。在微电子工业矽晶积体电路中主要用为： ...
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金属矽化物
Metal silicide
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金属硅化物是指过渡金属与硅生成的硬质化合物。由于硅原子半径较大，不能与过渡金属生成间隙化合物，因而这类硬质化合物化学成分稳定金属硅化物具有好的抗氧化性。
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