采用光发射谱技术(opticalemissionspectra，OES)研究P型微晶硅材料的生长动力学过程。提高氢稀释和等离子体功率都可以使等离子体中原子氢的含量增加，Si...
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采用光发射谱技术(opticalemissionspectra，OES)研究P型微晶硅材料的生长动力学过程。
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采用光发射谱技术
The technology of light emission spectrum is adopted
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