近接式对准 (proximity align) ： 为改善接触式对准有沾上光阻的问题， 可将罩与光阻远离一小 段距离在进行曝光会改善接触污染的问题。
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接近式对准 spaced alignment
接近式对准曝光器 proximity printer ; proximity aligner
接近式掩模对准 proximity mask alignment
近接式对准
Close alignment
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