采用特定的阶梯降压法和点蚀法分别研究了草酸和磷酸溶液中的 阻挡层减薄情况，并运用场发射扫描电镜（EFSEM）对阻挡层的去除情 况进行了分析研究。
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运用场发射扫描电镜
Using field emission scanning electron microscopy
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