...粗糙度(Micro-roughness)，及俱生氧化物(Native Oxide)之清除，以达到半导体元件 (Device)超薄闸极氧化层(Ultra-Thin Gate Oxide)的电性參數及特性(Electrical Parameters and Characteristics)，并达到元件的品质及可靠度。
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超薄闸极氧化层
Ultra-thin gate oxide layer
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