...superlattice films; carbide films; microstructure evolution; superhardness effect; epitaxial growt[gap=24314]关键词：超晶格薄膜；碳化物薄膜；微结构演变；超硬效应；外延生长 ...
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半导体超晶格和量子阱材料是用现代薄膜生长技术制成的一种新型的人造材料。
Superlattice and quantum well materials of semiconductor are new-style synthetic materials made in modern film growth techniques.
利用薄膜一维光子晶体超晶格的概念，设计了两种薄膜多峰滤光片。
The design method is based on concept of thin-film photonic crystal super-lattice.
磁性薄膜和超晶格之结构分析。
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