知名曝光光源设备提供商西盟科技(CYMER)认为目前用于EUV光刻的电源能量的挑战，Cymer已逐步把装配有Cymer光源的EUV设备给厂商测试，通过有计划的技术升级，取代现有技术...
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西盟科技
Ximeng Technology
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