...的实现提供了极大的灵活性,因此磷化铟集成光子器件的一直是国际上研究的热点之一蚀刻衍射光栅(EDG, etched diffraction grating)尺寸小,结构紧凑,在高射率材料的密集波分复用器件中有广泛应用。
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...分变化,为各种高集成度光子器件的实现提供了极大的灵活性,因此磷化铟集成光子器件的一直是国际上研究的热点之一蚀刻衍射光栅(EDG, etched diffraction grating)尺寸小,结构紧凑,在高射率材料的密集波分复用器件中有广泛应用。
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刻蚀衍射光栅 EDG ; etched diffraction grating
作为波分复用中最关键的器件，蚀刻衍射光栅(EDG)是平面波导密集波分复用器件中很有发展潜力的一种。
As the key device of a DWDM system, Etching Diffraction Grating (EDG) is one of the most potential types of planar waveguide DWDM devices.
本文提出了用等离子体蚀刻法提高浮雕全息光栅衍射效率的原理和方法。
The principle and method to improve the diffraction efficiency of relief holographic gratings by plasma etch is presented in this paper.
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