作 者 蓝碧健 ( Bi-Jian Lan );沈淼(Miao Shen);吕银祥(Yin-Xiang Lü);蔡永挚(Yong-Zhi Cai);徐伟(Wei Xu);华中一(Zhong-Yi Hua) 刊 名 真空科学与技术学报
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蓝碧健
LAN Bijian
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