自行对准矽化物钴(Self-Aligned Co-Silicide)： 进入0.18m 以下的salicide主要制程之一 ，其主要优点有： (a)热处理温度较低 (b)CoSi2与 SiO2 之间化性稳定
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自行对准硅化物钴
Self-aligning cobalt silicide
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