... 计画名称：电浆蚀刻制程的先进制程控制 研究者：林家瑞 经费来源：行政院国家科学委员会 关键词：自激发电子电浆共振仪 (SEERS)；先进制程控制 (APC) 依据国外相关研发趋势之归类，APC 大致可概分为模型基础式制程控制 (Model-Based Process Control; MBPC)及...
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自激发电子电浆共振仪
Self-excited electron plasma resonator
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