...scopy）、纳米硬度计（Nanoindentation tester）、纳米划痕方法（Nanoscratch）以及自制的微拉伸仪（Microtensile test device）进行器件级纳米硅薄膜力学特性的研究。
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自制的微拉伸仪
Self-made micro tension meter
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