聚焦环和等离子体处理装置,在可以提高处理的面内均匀性的同时,与现有技术比较,还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
聚焦环(focusing ring)带有聚焦电压(focussing potential ,术语:FP) ,在离子通过撇渣器(skimmer)进入真空腔时起到协助传输(assist in the tran...
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它包括四个部分:限流孔、聚焦环、电极环以及喷嘴。
It comprises of four parts, namely: flow limitation hole, focus ring, electrode ring and nozzle.
在本文中,我们讨论了聚焦贡献对潜在的传统菲涅耳波带片上的环的阶次的依赖性。
We investigate the dependence of the focusing contribution on the order m of local ring of underlying traditional Fresnel zone plate.
托德斯的“我的手袋,我的生活”应用程序聚焦于D-bag手袋系列,6位D-bag手袋拥有者——包括一位母亲、一位社会名流、一位环球旅行家和一位艺术品经纪人在内——向浏览者公开了他们的手袋、生活和地址簿。
Tod's "my life in this bag" app focuses on their d-bag collection as six owners including a mother a socialite a globetrotter and an art dealer open their bags lives and address books to browsers.
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