...腔维护后反应腔残余气感受导致钨刻蚀终点检 硕士论文测曲线异常,增加维护后靶预热性溅射(Burn in)和维护前烘烤挡片(Shutter Disk)能减少残余气体对钨刻蚀终点检测影响;(b)高温厚铝溅射真空腔体微漏导致铝刻蚀后产生火山状缺陷或晶须缺陷;(c)高温厚铝溅射残余气...
基于8个网页-相关网页
维护前烘烤挡片
Bake the baffle before maintenance
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动