* 在绝缘衬底上的硅（SOI，SiOn Insulator) :功能低、低漏电、集成度高、高速度、工艺简单等。SOI器件用于便携式通信系统，既耐高温又抗辐照。
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在绝缘衬底上的硅 SiOn Insulator ; SOI
绝缘衬底上的硅
Silicon on an insulating substrate
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