...间有限,部分大厂开始研究采用新技术降低成本,最主要的尝试是采用循环流化床(Fluidized Bed Reactor) 制造粒状多晶硅(Granular) ;FBR 法就是以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料生成三氯氢硅(TCS);将TCS 和氢气通入反应室,在其中加入小颗粒的多晶硅...
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中分解产生矽(Si),沉积在自由流动的微细晶种粉粒上,形成粒状多晶矽(Granular Polysilicon)产品,可达 电子级 ( Electronic Grade )纯度
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短语
颗粒状多晶硅
granular polysilicon