...网 cofthe Computer-Micro-VisionSystem． （2）频闪干涉系统 Hart等设计的频闪干涉系统（stroboscopic interferometer system，SIS）如图1．6所示， 它主要用于测试MEMS微器件动态特性。
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等设计的频闪干涉系统
Stroboscopic interference system, etc
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