1．在无机合成和材料科学上的应用 就工艺而言，用得较多的有等离子体化学气 相沉积(PCVD))和等离子体化学气相输运 (PCVT)、反应性溅射、磁控溅射、离子镀等。
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等离子体化学气相输运
Plasma chemical vapor transport
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