利用高介电系数介电层,可以使得物理厚度为原来二氧化矽 的数倍,却拥有相同的等效氧化层厚度(Equivalent Oxide Thickness, EOT),所以能使直接穿透闸极的漏电流变小并且维持一定的驱动电 流。
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等效氧化层厚度(Effective Oxide Thickness,EOT);2. 介电崩溃电场强度(Dielectric Breakdown Electric Field);...
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为缩减等效氧化层厚度 equivalent oxide thickness ; EOT
的等效氧化层厚度 equivalent oxide thickness ; EOT
同等效氧化层厚度 equivalent oxide thickness
相同等效氧化层厚度 equivalent oxide thickness ; EOT
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