...质较溅镀法为松散,而溅镀法虽可得到膜质结构致密且均匀的膜层,但是溅镀法速率慢,而离子辅助蒸镀法(ion-beam assisted deposition ,iad)则兼具此两种方法之优点。
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...镀法为松散,而溅镀法虽可得到膜质结构致密且均匀的膜层,但是溅镀法速率慢,而离子辅助蒸镀法(ion-beam assisted deposition ,iad)则兼具此两种方法之优点。
离子辅助蒸镀法
Ion assisted evaporation
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