【Abstract】在这项研究中，我们专注于重离子的动力学在离子束诱导外延结晶（IBIEC）的离子注入非晶层作为退火剂量函数。掺杂剂的使用在非常低的固体溶解度和扩散系数低。
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离子束诱导外延的结晶 IBIEC
离子束诱导外延结晶
Ion beam induced epitaxial crystallization
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