...版、英文版） 关键字: 离子束溅射技术;纳米Ni-Cr合金薄膜;快速热处理工艺[gap=1542]Key words: ion beam sputtering technology; Ni-Cr alloy thin-films; rapid thermal process...
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采用了离子束溅射技术 Iom Beam Sputtering
离子束溅射技术
Ion beam sputtering technology
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在离子束溅射和离子辅助沉积光学薄膜技术中，离子源是其中最关键的单元技术之一。
In ion-beam sputtering deposition and ion-beam aid deposition thin film techniques, ion-beam source is one of the key techniques.
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