1 离子注入与气相沉积复合处理 离子束辅助沉积 ( IBAD) 与离子束增强沉积 ( IBED) 是把离子注入技术和气相沉积镀膜技术相 结合的复合表面离子处理技术。
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离子束增强沉积(ion beam enhanced deposition)
ion beam enhanced deposition
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