E.W.弥勒于1951年发明的一种分辨率极高(2～3┱)、能直接用于观察金属表面原子的分析装置，简称FIM。FIM(Field Ion Microscope)是最早达到原子分辨率，也就是最早能看得到原子尺度的显微镜。
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氦离子显微镜也用于表面和材料的图形化。
氦离子显微镜无需导电涂层就可以提供极好的成像。
HIM can pro - vide excellent imaging without the need for conductive coatings.
描述了场离子显微镜样品的制备，并得到曲率半径为500（?），表面光洁的钨针尖。
The tip of specimen for FIM analysis is prepared by "thin layer" electropolishing. A Clean tungsten tip about 500 A radius was prepared.
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