现已广泛推行应用的功能性薄膜包括：TiN(氮化钛), TiCN(氮碳化钛), ALTiN(高铝钛 ), CrN(氮化铬), CrCN(碳氮化铬), TiAL..
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氮碳化铬 CrCN
碳氮化铬
Chromium carbonitride
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