协作 中文名称 硅片表面颗粒测试仪 英文名称 Wafer inspection system 850 仪器分类 物理性能测试仪器 - 颗粒度测量仪器 - 粒度分布测量仪 仪器型号 WIS850 生产厂商 ADE 认证情况 启用日期 所在单位
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硅片表面颗粒测试仪
Silicon surface particle tester
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