...器、场发射照冥具件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等⑹电力电子器件它首要包孕哄骗MEMS技能建造的铅直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽铅直导电型MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件此刻，已有很多很多种用场各别的MEMS器件接踵问世今朝，微型电动机的实...
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