之间进行比较的计算建模电离物理汽相淀积（IPVD）和高功率磁控管（HPM），沉积铜。为了进行比较的点的功能规模的观点是强调其中两个反应器是可区分的大小和比例的硬币（铜，促阿，...
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电离物理汽相淀积
Ionizing physical vapor deposition
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