condenser silicon micromachined microphone 电容式硅微机械麦克风 precision measuring condenser microphone 精密测量用电容传声器 ..
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电容式硅微机械麦克风
Capacitive silicon micromechanical microphone
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提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。
A micromachined condenser microphone with a free floating sensing diaphragm and a perforated thick copper backplate is presented.
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