electron energy distribution function
...(ECR)上的电子温度和等离子体密度的影响被认为是较弱的一个ICP固定放电电力,并在高放电功率减小时,电子能量分布函数(EEDF)是靠近麦克斯韦分布。它表明,ICP与磁场增强等离子体保持射频场的减少所造成的动力传递效率的增加,主要是由于。
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电子能量分布函数
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电子能量几率分布函数 EEPF
电子能量概率分布函数 EEPF
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在ECR放电实验中,我们测量了简单镜中捕获的电子能量分布函数。
Electron energy distribution functions of an ECR discharge confined in a simple magnetic mirror trap have been measured.
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