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电子探针显微分析仪

网络释义专业释义

  EPMA

如用于分析材料 中元素含量的电子探针显微分析仪（EPMA）是用5～30keV的电子束轰击固体 靶样，通过测量特征X射线强度或俄歇电子产额来得到靶材料中元素含量信息； 分析材料中元素成分的俄...

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