由于， 电化学机械抛光 (ECMP) 是一种复合加工工艺， 利用钝化性电解液在 金属表面生成钝化膜的机理， 在阴极和工件之间接通电流时， 电流密度很小， 工件表面...
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电化学机械抛光
Electrochemical mechanical polishing
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实验表明，脉冲电化学机械抛光是一种有效的镜面加工方法。
The experiments of polishing show that it is an effective mirror processes.
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