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电化学原子层外延法

网络释义

  electrochemical atomic layer epitaxy

研究了利用电化学原子层外延法(electrochemical atomic layer epitaxy,ECALE)在Pt电极上生长Sb2Te3化合物半导体薄膜热电材料的过程.采 .

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电化学原子层外延法

Electrochemical atomic layer epitaxy

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