...tor，LFD），如图1．2a）所示；（3）在环境真空模式（ESEM）中采用环 状气体二次电子探头（GaseousSecondary ElectronDetector，GSED），如图l乏b） 所示。BSE探头在HV和LV模式中都可以使用。
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状气体二次电子探头
Form gas secondary electron probe
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