【物理气相淀积】

物理气相淀积

PVD

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physical vapor deposition

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物理气相淀积

Physical vapor deposition

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运用蒙特卡罗方法，模拟了不同条件下的物理气相淀积薄膜生长过程。

The simulation of physical vapor deposition by Monte Carlo method using a new physical model is presented in this paper.

youdao

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