这两种技术被用以缓和漏感应势垒降低效应 (DIBL).然而,DIBL效应在低电压下会减弱,此时HALO技术和STI技术就会带来反短沟效应[12-13]和反窄沟效应.
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漏感应势垒降低效应
Leakage induced barrier reduction effect
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