本课题中我们采用的刻蚀工艺是湿法化学刻蚀（wet chemical etching）。湿法化学刻蚀是 利用液态化学试剂或溶液通过化学反应进行刻蚀的方法。
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湿法化学刻蚀
Wet chemical etching
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首先，采用紫外光刻和化学湿法刻蚀技术在玻璃基片上加工微米深度的微通道；
The microchannels were firstly constructed on a glass substrate by standard UV photolithography and wet etching technique.
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